Atomic Force Microscopy using self-sensing cantilevers
In Atomic Force Microscopy (AFM), micro-cantilevers with a sharp tip are scanned over a sample to measure various surface properties with nanometer resolution. The measurement of the cantilever deflection is a crucial part, which defines the imaging performance of AFM. Self-sensing cantilevers with integrated piezoresistive or capacitive elements enable a direct and efficient deflection measurement and are a promising alternative to the conventional optical lever method. This project aims at enabling novel AFM methods and applications by exploiting the advantages of self-sensing cantilevers. Weiterlesen →
Sub-Mikrometer Rastersonden-basierte Charakterisierung von HF-Halbleiterprodukten auf Waferebene (SuRF)2021 - 2024
HF-Systeme gehören zu den Schlüsselkomponenten moderner Technologien wie beispielsweise Radar für Umgebungserfassung zum sicheren automatisierten Fahren durch Nacht und Nebel und Internet der Dinge wie 5G-Telekommunikations-Chips. Das Ziel des SµRF-Projekts ist die Entwicklung eines Rastersondenmikroskops für die Charakterisierung und den Test von Hochfrequenz- (HF) und Millimeterwellen- (mmWave) Halbleiterprodukten mit Sub-Mikrometer-Präzision auf Wafer-Ebene. Weiterlesen →
RF-AFM2018 - 2021
The accurate measurement of local RF-voltages within integrated circuits is crucial for the development of miniaturized electronic devices. Contactless probing techniques are considered a promising approach to overcome the space limitations imposed by the size of required contact pads used in conventional probing techniques. This project aims at developing a scanning probe based measurement system capable of mapping voltages within RF-devices with sub-um spatial resolution. Weiterlesen →
Versatile technology platform for MEMS scan system for automotive safety applications (AUTOScan)2021 - 2024
Advancements of sensors, communication and artificial intelligence are about to bring a revolutionary changes in mobility and transportation by autonomous driving. Scanning mirrors based on Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) technologies are one of the promising solutions for various automotive applications, e.g. photonic sensing such as lidars and human machine interfaces such as augmented reality head -up display (AR HUD) and smart headlights. The AUTOScan project aims for automotive grade MEMS scanning systems for robust sensing and imaging in harsh automotive environmental conditions, enabling reliable MEMS lidars and AR HUDs. Weiterlesen →
PriMActO2019 - 2022
Dieses Projekt zielt auf die Analyse, Entwicklung und Integration einer aktiven Primärspiegelzelle für mittelgroße Teleskopsysteme zwischen 60 cm und 2 m ab. Basierend auf einem integrierten mechatronischen Systemdesign und einem modularen Ansatz sollen sowohl eine extrem leichte Bauweise, eine hohe Abbildungsqualität als auch eine kosteneffiziente Lösung erzielt werden. Weiterlesen →
OptoFence II2020 - 2023
Das Projekt zielt auf die Entwicklung eines teleskopbasierten, mobilen, optischen Systems zur Erkennung, Identifikation und präzisen Verfolgung von UAVs in einem signifikant größeren Beobachtungsradius als bisher möglich ab. Das integrierte Kamerasystem erlaubt die Echtzeitaufklärung und –Verfolgung des Zielobjekts, wodurch die Analyse des bestehenden Gefahrenpotentials ermöglicht wird. Durch die deutlich erweiterte Einsatzreichweite des vorgeschlagenen Systems, werden potentielle Bedrohungen rechtzeitig erkannt, sodass eine gezielte Auswahl und Abstimmung notwendiger Abwehrmaßnahmen ermöglicht wird. Weiterlesen →
Precision robotic inline metrology for freeform surfaces
High precision in-line measurements on free form surfaces are considered a key factor for the industrial production of the future. Robot-based measurement systems provide the required flexibility but are typically lacking the required precision. The scope of this project is the development of a measurement platform designed as end effector for industrial robots, which carries a measurement or inspection tool and compensates for environmental disturbances, enabling precision 3D measurements on both arbitrarily oriented and moving samples. Weiterlesen →
Hybrid reluctance actuators for high precision motion
Next-generation high-quality motion systems require high-precision actuators with higher energy efficiency and larger force to improve the system throughput. Particularly, actuators with a motor constant higher than comparable voice coil actuators are highly desired. This project investigates hybrid reluctance actuators (HRAs) with guiding flexures as a promising candidate of the next-generation systems. Weiterlesen →
Aktive Turbulenzunterdrückung für Flugzeuge – SmartWings
Flugturbulenz stellt ein ungelöstes Problem für die Luftfahrt dar. Die Untersuchung von intelligenten Flügelstrukturen, die Turbulenzen messen und Störungen aktiv durch Klappenausschläge kompensieren, soll es zukünftig ermöglichen, Turbulenzen direkt und zuverlässig zu durchfliegen. Weiterlesen →
Klimafloor
The project deals with the total installation and processing of floor structures including underfloor heating of our industrial partner mixit Dämmstoffe GmbH. Our focus in the project lies on the construction of an automated leveling robot in order to increase the distribution quality and achieve a shorter processing time. Weiterlesen →